คาร์ทริจกรองครึ่งประสาทเป็นองค์ประกอบกรองความบริสุทธิ์สูงที่ใช้ในการผลิตครึ่งประสาทและกระบวนการอิเล็กทรอนิกส์ที่เกี่ยวข้องเครื่องกรองครึ่งประสาทไม่ได้ถูกออกแบบเพื่อกําจัดอนุภาคเท่านั้นแต่ยังเป็นการลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนจากสารสกัด, อิอนโลหะ, เหลืออินทรีย์, เส้นใย, และการหลั่งของวัสดุ
ในการผลิตครึ่งประสาท แม้แต่อนุภาคขนาดเล็กมากหรือสารปนเปื้อนในร่องรอยอาจส่งผลกระทบต่อผลผลิตของแผ่น, ความสะอาดของผิว และความมั่นคงของกระบวนการการกรองเป็นส่วนสําคัญในการควบคุมการปนเปื้อนในสารเคมีในกระบวนการแบบชื้น, น้ํา ultrapure, photoresist, CMP slurry, สารละลาย, ก๊าซ, และระบบความบริสุทธิ์สูงอื่น ๆ
พัลเลนเนอร์ให้บริการคําตอบกรองกรองสําหรับความบริสุทธิ์สูงและการใช้งานที่เกี่ยวข้องกับครึ่งประสาท ช่วยลูกค้าเลือกวัสดุกรองที่เหมาะสม ความแม่นยําการกรอง โครงสร้างและประเภทการเชื่อมต่อตามสภาพกระบวนการจริง.
การเลือกวัสดุเป็นหนึ่งในปัจจัยที่สําคัญที่สุดในการกรองครึ่งประสาท สารเคมี, อุณหภูมิ, อัตราการไหลและความสะอาดที่แตกต่างกันต้องการสื่อกรองที่แตกต่างกัน
ในระบบครึ่งประสาทหลายระบบ เครื่องกรองไม่ได้ใช้ลําพัง การออกแบบการกรองที่เหมาะสมอาจรวมเครื่องกรองก่อน เครื่องกรองระหว่าง และ เครื่องกรองสุดท้าย เพื่อลดภาระอนุภาคป้องกันเครื่องกรองสุดท้ายที่แพง, และรักษาผลงานกระบวนการที่คงที่
ความแม่นยําในการกรองของกล่องกรองครึ่งประสาทมักจะเข้มข้นกว่าการกรองอุตสาหกรรมทั่วไปความสามารถในการกรองอาจแตกต่างกันจากระดับไมครอน ถึงระดับใต้ไมครอนเช่น 0.45 μm, 0.2 μm, 0.1 μm, 0.05 μm หรือบางกว่านั้น
อย่างไรก็ตาม การเลือกกรองครึ่งประสาท ไม่ได้เกี่ยวกับการเลือกขนาดเล็กกว่าไมครอน แต่กรองที่ละเอียดเกินไป อาจทําให้ความดันลดลงมากหรืออายุการใช้งานที่สั้นเครื่องกรองที่หยาบเกินไปอาจไม่ให้การควบคุมอนุภาคเพียงพอ
ตัวชี้วัดผลงานสําคัญประกอบด้วย
สําหรับการใช้งานความบริสุทธิ์สูง เครื่องกรองที่ระดับสมบูรณ์แบบมักถูกเลือก เพราะมันให้ผลงานในการเก็บอนุภาคที่น่าเชื่อถือมากขึ้นลูกค้าครึ่งประสาทอาจให้ความสนใจกับข้อมูลการทดสอบ, การติดตามรอย, การล้างและความเข้ากันได้กับสารเคมีเฉพาะเจาะจง
น้ํา Ultrapure ใช้อย่างแพร่หลายในการทําความสะอาด, ล้าง, และการเตรียมกระบวนการ. เครื่องกรองในระบบ UPW ช่วยในการกําจัดอนุภาคละเอียดและปกป้องสายการจัดจําหน่ายด้านล่าง.เนื่องจาก UPW มีความต้องการความสะอาดที่สูงมาก, วัสดุกรองต้องมีลดการถอนและประสิทธิภาพความสะอาดที่คง
สารเคมีที่เปียก เช่นกรด, แอลคาลี, สารแก้ไขการถัก, สารแก้ไขการทําความสะอาด, และสารละลายต้องการเครื่องกรองที่มีความทนทานทางเคมีที่แข็งแรงและวัสดุ UPE มักจะใช้ขึ้นอยู่กับชนิดเคมีและสภาพการทํางาน.
เป้าหมายหลักคือการกําจัดอนุภาค และป้องกันการปนเปื้อนระหว่างการส่งสารเคมีและการแพร่กระจาย
การกรองแบบทนแสงต้องมีการควบคุมอนุภาคและเจลอย่างละเอียดมาก ความบกพร่องที่เกิดจากอนุภาค, เจล, หรือสารพิษเล็ก ๆ อาจส่งผลกระทบตรงต่อคุณภาพการฉลากเครื่องกรองที่ใช้ในการใช้งานเหล่านี้ต้องมีความสะอาดที่ดี, การซับซ้อนต่ํา และการเก็บตัวอนุภาคละเอียดที่มั่นคง
การกรองสลัด CMP สับสนกว่า เพราะสลัดเองมีอนุภาคบดที่มีหน้าที่เครื่องกรองต้องกําจัดอนุภาคขนาดใหญ่เกินและสารประกอบโดยไม่กําจัดองค์ประกอบของสารสับที่ใช้ได้ดังนั้นโครงสร้างกรอง การออกแบบรูและคุณสมบัติการไหลเป็นสิ่งสําคัญมาก
การกรองก๊าซความบริสุทธิ์สูง ใช้ในการกําจัดอนุภาคและป้องกันเครื่องมือกระบวนการPTFE และวัสดุเยื่อที่เหมาะสมอื่น ๆ ถูกใช้ทั่วไปในการกรองก๊าซ เนื่องจากความทนทานทางเคมีและผลงานการเก็บอนุภาคของพวกเขา.
สําหรับลูกค้าครึ่งประสาท เครื่องกรองที่เหมาะสมที่สุด ไม่ใช่เสมอไปที่แพงที่สุดหรือที่ดีที่สุด การเลือกที่ถูกต้องควรพึ่งพาการต้องการของกระบวนการจริง
เมื่อการผลิตครึ่งประสาทยังคงเคลื่อนย้ายไปสู่ขนาดลักษณะที่เล็กกว่าและการบูรณาการที่สูงกว่า ความต้องการในการควบคุมการปนเปื้อนจะเข้มข้นมากขึ้นนี้สร้างความต้องการทางเทคนิคที่สูงขึ้นสําหรับกล่องกรองครึ่งตัวนํา.
ในอนาคต การกรองครึ่งประสาทจะพัฒนาไปในหลายทิศทาง
พัลลเนอร์ให้บริการคําตอบกรองกรองสําหรับการใช้งานที่เกี่ยวข้องกับครึ่งตัวนํา รวมถึงสารเคมีความบริสุทธิ์สูง, น้ํา ultrapure, สารละลาย, ก๊าซ,และเหลวกระบวนการอิเล็กทรอนิกส์.
วัสดุที่มีอยู่ประกอบด้วย PTFE, PFA, UPE, PES, PP, ไนลอน, PVDF และสื่อกรองอื่น ๆ ตามความต้องการการใช้งานความแม่นยําของการกรอง, อัตราการไหลของน้ํา, ความดันการทํางาน, อุณหภูมิ, รูปแบบกรองที่มีอยู่, การวาดภาพ, หรือตัวอย่าง
สําหรับลูกค้าที่เผชิญกับการปนเปื้อนของอนุภาค, อายุการใช้งานของกรองที่สั้น, ค่าเปลี่ยนที่สูง, การเปลี่ยนกรองที่นําเข้า, หรือประสิทธิภาพการกรองที่ไม่มั่นคงพัลลเนอร์สามารถช่วยวิเคราะห์กระบวนการและแนะนําวิธีการกรองที่เหมาะสม.
คาร์ทริจกรองครึ่งตัวนําเป็นองค์ประกอบที่สําคัญในระบบการผลิตความบริสุทธิ์สูงป้องกันเครื่องมือกระบวนการ, ปรับปรุงความมั่นคงของการผลิต และสนับสนุนผลผลิต
เมื่อเลือกเครื่องกรองครึ่งประสาท ลูกค้าควรพิจารณาสื่อกรอง, ระดับไมครอน, ความเข้ากันทางเคมี, ความสะอาด, ความดันตก, อายุการใช้งาน, และการออกแบบระบบด้วยกัน
พัลเลนเนอร์มุ่งมั่นในการให้บริการที่น่าเชื่อถือ, ประหยัด, และการปรับปรุงซองกรอง semiconductor สําหรับลูกค้าทั่วโลก.
สําหรับการเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับ Pullner แคร์ทริจกรองครึ่งตัวนําและการแก้ไขการกรองความบริสุทธิ์สูง โปรดไปที่www.pullnerfilter.com.
ผู้ติดต่อ: Miss. Lucy
โทร: 86-21-57718597
แฟกซ์: 86-021-57711314
Thai
