ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แม้แต่อนุภาค เจล ไอออนของโลหะ หรือสารปนเปื้อนอินทรีย์ที่มีขนาดเล็กมาก ก็อาจส่งผลต่อผลผลิตของแผ่นเวเฟอร์และความเสถียรของกระบวนการ ดังนั้น การกรองจึงไม่เพียงแต่เป็นกระบวนการแยกสารที่เรียบง่าย แต่ยังเป็นส่วนสำคัญของการควบคุมการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีความบริสุทธิ์สูงอีกด้วย
Pullner นำเสนอตลับกรองเซมิคอนดักเตอร์ที่ออกแบบมาสำหรับการใช้งานที่มีความต้องการสูง เช่น สารเคมีในกระบวนการเปียก สารต้านทานแสง นักพัฒนา ตัวทำละลาย สารละลาย CMP น้ำบริสุทธิ์พิเศษ และการกรองก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง ตัวกรองเหล่านี้ช่วยให้ลูกค้าปรับปรุงความสะอาดของกระบวนการ ปกป้องอุปกรณ์ปลายน้ำ และรักษาประสิทธิภาพการผลิตที่มั่นคง
ตลับกรองเซมิคอนดักเตอร์ทั่วไปประกอบด้วยส่วนสำคัญหลายส่วน ได้แก่:
เมมเบรนเป็นชั้นการกรองที่สำคัญที่สุด ซึ่งทำหน้าที่กำจัดอนุภาคและสิ่งปนเปื้อนออกจากของเหลวหรือก๊าซ วัสดุเมมเบรนทั่วไปได้แก่:
แต่ละชนิดเหมาะสมกับสภาวะทางเคมีที่แตกต่างกัน ตัวอย่างเช่น PTFE และ PFA มักจะใช้สำหรับสารเคมีและตัวทำละลายที่มีฤทธิ์รุนแรง ในขณะที่ UPE ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการกรองสารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูง เนื่องจากมีสารสกัดต่ำและความสะอาดเป็นเลิศ
ชั้นรองรับและการระบายน้ำช่วยรักษาการไหลที่มั่นคงและลดแรงดันตกระหว่างการทำงาน แกนด้านในและกรงด้านนอกให้ความแข็งแรงทางกล ช่วยให้ตลับกรองทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือภายใต้แรงดันและสภาวะการไหลเฉพาะ การออกแบบฝาปิดท้ายและการซีลช่วยให้มั่นใจในการติดตั้งที่เหมาะสมและช่วยป้องกันการรั่วไหลของบายพาส ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูง
เป้าหมายการกรองหลักของตลับกรองเซมิคอนดักเตอร์ประกอบด้วย:
ในกระบวนการกรองแบบเปียกและการกรองสารเคมีแบบอิเล็กทรอนิกส์ ตัวกรองจะถูกใช้เพื่อขจัดอนุภาคละเอียดที่อาจทำให้เกิดข้อบกพร่องบนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ ในระบบน้ำบริสุทธิ์พิเศษ ตัวกรองช่วยรักษาความสะอาดของน้ำและปกป้องอุปกรณ์ในกระบวนการที่มีความละเอียดอ่อน ในการกรองก๊าซ ตัวกรองประสิทธิภาพสูงใช้เพื่อควบคุมอนุภาคในอากาศและรับประกันการส่งก๊าซที่สะอาด
เมื่อเปรียบเทียบกับตัวกรองอุตสาหกรรมทั่วไป ตัวกรองเกรดเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความสะอาดที่สูงกว่า ความเข้ากันได้ทางเคมีที่ดีกว่า ความเสี่ยงในการปนเปื้อนที่ต่ำกว่า และความสม่ำเสมอของแบทช์ที่เสถียรมากกว่า Pullner มุ่งเน้นไปที่การเลือกวัสดุ การออกแบบโครงสร้าง การผลิตที่สะอาด และการควบคุมคุณภาพ เพื่อมอบโซลูชันการกรองที่เชื่อถือได้สำหรับการใช้งานที่มีความบริสุทธิ์สูง
สำหรับลูกค้าที่กำลังมองหาทางเลือกนอกเหนือจากตัวกรองแบรนด์ต่างประเทศ Pullner สามารถรองรับการเลือกตามหมายเลขชิ้นส่วน ภาพวาดทางเทคนิค ตัวอย่าง หรือสภาพการทำงานจริง เราสามารถช่วยเหลือในการยืนยันขนาด การจับคู่วัสดุ การทดสอบตัวอย่าง และการจัดหาจำนวนมากหลังจากผ่านการรับรองแล้ว
ไม่ว่าการใช้งานของคุณคือการกรองสารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูง การบำบัดน้ำบริสุทธิ์พิเศษ การกรองสารละลาย CMP หรือการกรองก๊าซ Pullner พร้อมที่จะมอบโซลูชันการกรองเซมิคอนดักเตอร์แบบมืออาชีพ คุ้มค่า และปรับแต่งได้
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับตลับกรองเซมิคอนดักเตอร์ Pullner กรุณาเยี่ยมชมที่www.pullnerfilter.comหรือติดต่อเราเพื่อรับการสนับสนุนทางเทคนิคและการเลือกผลิตภัณฑ์
ผู้ติดต่อ: Miss. Lucy
โทร: 86-21-57718597
แฟกซ์: 86-021-57711314
Thai
